無塵室對應
壓力控制方式是因為采用滾動膜片與計量膜合的伺服平衡方式，可以實現無塵室對應的精密的壓力調整的超精密減壓閥。
| RS-4 | RS-8 | |
| 使用流體 | 清潔壓縮空氣 | |
| 壓力設定范圍 （MPa） | 0.014～0.42 | 0.014～0.84 |
| 進口壓力設定范圍 （MPa） | 1. Max. | |
| 排氣的有無 | 有 | |
| 反復再現性 （％.F.S） | ±0.1以內 | |
| 感度 （％.F.S） | 0.1以內 | |
| 空氣消費量 （Nl/min） | 3.7以內 | |
| 使用溫度范圍 （℃） | 5～60 | |
| 配管連接口徑 | Rc 1/4、歧管型 | |
| 壓力表連接口徑 （Rc（PT）） | 1/4 | |
| 支架 | 標準配置（歧管型以外） | |
| 質量 （kg） | 0.41 | |
